超純水電導率≤0.1μs/cm@25℃ 電阻率:10-15MΩ.cm@25℃ 可氧化物質﹝以(0)計﹞,mg/L<0.08 蒸發殘渣(105±2℃),mg/L≤0.5 吸光度(254nm,1cm光程) ≤0.01 可溶性硅﹝以(SiO2)計﹞mg/L<0.02 | 超純水電導率≤0.06μs/cm@25℃ 電阻率:18.25MΩ.cm@25℃ 吸光度(254nm,1cm光程): ≤0.01 可溶性硅﹝以(SiO2)計﹞:mg/L<0.01 總有機碳量:Toc<15ppb 微粒子(大於0.2μm)含量: <1/ml 重金屬含量(mg/L.max) <0.01 氧化矽含量(mg/L.max) <0.01 |