超純水電導率≤0.1μs/cm@25℃;電阻率:18.254MΩ. cm@25℃ 達到美國CAP、ASTM、NCCLS標準及中國國家電子一級超純水標準 微粒子(大於0.1μm)含量: <1/ml 熱源含量:<0.005Eu/ml 微生物含量:<1cfu/ml 總有機碳量TOC:<5ppb 金屬陽離子含量(單位PPb): Fe(鐵)<0.005 Cu(銅) <0.005 Al(鋁) <0.005 Ni(鎳) <0.005 Zn(鋅) <0.02 Cr(鉻) <0.005 Na(鈉) <0.01 K(鉀) <0.02 陰離子含量(單位PPb): Ci-(氯) <0.01 NO2-(亞硝酸根) <0.02 NO3-(硝酸根) <0.02 So42-(硫酸根) <0.01 |